申请/专利权人：歌尔微电子有限公司

申请日：2019-12-30

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211047213U

主分类号：H04R19/00(20060101)

分类号：H04R19/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开一种MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器，该MEMS传感器防吸膜结构包括：防水膜、固定胶和支撑挡板，防水膜通过固定胶固定在支撑挡板上，支撑挡板上设置有多个通孔，支撑挡板靠近防水膜的表面上设置有多个凸起部。本实用新型旨在防止MEMS传感器的防尘防水膜吸附到支撑挡板上，从而避免出现因防水膜吸膜导致的传感器性能下降甚至失效的情况。

主权项：1.一种MEMS传感器防吸膜结构，包括防水膜、固定胶和支撑挡板，其特征在于，所述防水膜通过所述固定胶固定在所述支撑挡板上，所述支撑挡板设置有多个通孔，所述支撑挡板靠近所述防水膜的表面上设置有多个伸出指向所述防水膜的凸起部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 歌尔微电子有限公司 MEMS传感器防吸膜结构及MEMS传感器

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