申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
申请日:2019-07-02
公开(公告)日:2021-01-05
公开(公告)号:CN112185929A
主分类号:H01L23/525(20060101)
分类号:H01L23/525(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开
摘要:本发明涉及一种半导体结构及其制造方法、存储器,半导体结构包括:衬底;下电极层,所述下电极层位于部分所述衬底上;绝缘介质层,所述绝缘介质层位于所述下电极层上,且所述绝缘介质层暴露出部分下电极层表面;上电极层,所述上电极层位于所述绝缘介质层上,所述上电极层、所述绝缘介质层以及所述下电极层构成反熔丝电容。本发明有利于改善半导体结构的电学性能。
主权项:1.一种半导体结构,其特征在于,包括:衬底;下电极层,所述下电极层位于部分所述衬底上;绝缘介质层,所述绝缘介质层位于所述下电极层上,且所述绝缘介质层暴露出部分下电极层表面;上电极层,所述上电极层位于所述绝缘介质层上,所述上电极层、所述绝缘介质层以及所述下电极层构成反熔丝电容。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长鑫存储技术有限公司 半导体结构及其制造方法、存储器
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