申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司

申请日：2020-09-27

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112185878A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；静电发生装置，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部，所述电源用于向所述正电荷端头和所述电子端头供电，以使所述正电荷端头产生正电荷，所述电子端头产生电子。本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，可降低生产成本。

主权项：1.一种传送机械手，其特征在于，包括：基体，包括用于支撑晶圆的支撑部；电源；静电发生装置，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部，所述电源用于向所述正电荷端头和所述电子端头供电，以使所述正电荷端头产生正电荷，所述电子端头产生电子。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京京仪自动化装备技术有限公司 传送机械手

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