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【发明公布】半导体装置_台湾积体电路制造股份有限公司_202010377179.8 

申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

申请日:2020-05-07

公开(公告)日:2021-02-23

公开(公告)号:CN112397452A

主分类号:H01L21/8238(20060101)

分类号:H01L21/8238(20060101);H01L27/092(20060101)

优先权:["20190816 US 16/542,578"]

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态:2023.01.24#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.02.23#公开

摘要:一种半导体装置,包括一鳍部、一隔离区、一栅极结构、一栅极间隔件及一外延区。鳍部位于一基底上方,包括第一端及第二端,其中鳍部的第一端具有凸形轮廓;一隔离区与鳍部相邻;一栅极结构沿着鳍部的侧壁,且位于鳍部的上表面上;一栅极间隔件侧向相邻于栅极结构;一外延区与鳍部的第一端相邻。

主权项:1.一种半导体装置,包括:一鳍部,位于一基底上方,该鳍部包括一第一端及一第二端,其中该鳍部的该第一端具有凸形轮廓;一隔离区,与该鳍部相邻;一栅极结构,沿着该鳍部的侧壁,且位于该鳍部的上表面上;一栅极间隔件,侧向相邻于该栅极结构;以及一外延区,与该鳍部的第一端相邻。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 半导体装置

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