申请/专利权人：杭州广立微电子股份有限公司

申请日：2021-12-31

公开（公告）日：2022-05-24

公开（公告）号：CN114527366A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.06.10#实质审查的生效;2022.05.24#公开

摘要：本发明公开了一种WAT自动重测方法，属于集成电路测试技术领域。具体包括下述步骤：步骤1.测试设备选定重测设置与配置信息，配置信息包括测试相关的数据配置文件；选定并载入待测晶圆；步骤2.测试设备执行主测试流程，得到初始测试结果；步骤3.测试设备根据重测设置自动执行重测分析系统，对初始测试结果进行分析，获得重测项清单；步骤4.若重测项清单为空，则不执行重测测试流程，继续执行主测试流程；否则测试设备执行重测测试流程；对重测项清单的内容进行重测，重测后继续执行主测试流程。本发明可以实现晶圆电性测试过程中测试结果不稳定的测试项的自动重测，大大提高测试效率与测试精度。

主权项：1.一种WAT自动重测方法，其特征在于，具体包括下述步骤：步骤1.测试设备选定重测设置与配置信息，所述配置信息包括测试相关的数据配置文件；选定并载入待测晶圆；步骤2.测试设备执行主测试流程，得到初始测试结果；步骤3.测试设备根据所述重测设置自动执行重测分析系统，对所述初始测试结果进行分析，获得重测项清单；步骤4.若所述重测项清单为空，则不执行重测测试流程，继续执行主测试流程；否则测试设备执行重测测试流程，对所述重测项清单的内容进行重测，重测后继续执行主测试流程。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州广立微电子股份有限公司 一种WAT自动重测方法

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