申请/专利权人：复旦大学

申请日：2020-12-19

公开（公告）日：2022-09-27

公开（公告）号：CN112687641B

主分类号：H01L23/367

分类号：H01L23/367;H01L23/373;H01L23/473;B29C45/14;B29C64/10;B33Y10/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.27#授权;2021.05.07#实质审查的生效;2021.04.20#公开

摘要：本发明属于3D打印技术领域，具体为一种通过3D打印制备半导体功率模块散热水道的方法。本发明利用3D打印的方式，在半导体功率模块散热水道的区域，用可以被溶剂去除的材料打印出相应的水道结构；在完成模块注塑过程后，用溶剂将打印材料清洗去除，实现水道的加工制造。本发明可以简化功率模块的散热器设计与制造工艺，进一步降低模块的成本；同时，对复杂水道能够高精度制备。

主权项：1.一种通过3D打印制备半导体功率模块散热水道的方法，其特征在于，利用3D打印的方式，在半导体功率模块散热水道的区域，用可以被溶剂去除的材料打印出相应的水道结构；在完成模块注塑过程后，用溶剂将打印材料清洗去除，实现水道的加工制造；具体步骤为：（1）通过3D打印的方式在半导体功率模块表面形成“水道”；（2）在水道的空穴中填充高导热材料；（3）功率模块经过注塑过程，将水道及高导热结构包裹在模块内部；（4）用溶剂，将3D打印材料去除，实现经过优化设计的散热水道结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 复旦大学 通过3D打印制备半导体功率模块散热水道的方法

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