申请/专利权人：潘芳琳

申请日：2022-08-19

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115415896A

主分类号：B24B19/22

分类号：B24B19/22;B24B29/02;B24B37/04;B24D3/14;B24D5/00;B28D1/22;C09G1/02;H01L21/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明公开了晶圆生产工艺，晶圆生产工艺方法包括如下步骤；选择玻璃毛坯，将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割，将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨，将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光，将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度，将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理，将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗，将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格，将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆。本发明通过将磨轮的凹槽直角改成半圆弧形状，避免玻璃毛坯在打磨时，玻璃毛坯与磨轮发生碰撞，从而造成玻璃毛坯发生破裂损坏，从而造成玻璃毛坯无法使用。

主权项：1.晶圆生产工艺，其特征在于：该晶圆生产工艺方法包括如下步骤；步骤一；选择玻璃毛坯；步骤二；将玻璃毛坯通过CNC玻璃开料机进行切割；步骤三；将切割好的玻璃毛坯通过磨轮来对其进行打磨；步骤四；将打磨好的玻璃毛坯根据厚度来选择研磨还是抛光；步骤五；将厚度不达标的玻璃毛坯来进行研磨，使玻璃毛坯达到符合标准的厚度；步骤六；将厚度符合标准的玻璃毛坯进行抛光处理；步骤七；将抛光处理好的玻璃毛坯进行清洗；步骤八；将清洗好的玻璃毛坯进行检验，检测玻璃毛坯是否合格；步骤九；将检测合格的玻璃毛坯进行包浆处理，使其形成晶圆；步骤十；将晶圆进行包装处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 潘芳琳 晶圆生产工艺

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