申请/专利权人：淄博绿能芯创电子科技有限公司

申请日：2022-08-22

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN218630225U

主分类号：G01V8/12

分类号：G01V8/12;G01N21/25;G01N21/3563

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶圆识别装置，包括：光束发射组件、光束发射头、光束接收组件以及光束接收头；光束发射组件与光束发射头通过光纤连接，光束接收组件与光束接收头通过光纤连接；光束发射头和光束接收头设置在待测晶圆的同一侧，光束发射头和光束接收头位于同一平面内；光束发射头的发射端朝向待测晶圆的圆心设置，光束接收头的接收端朝向待测晶圆的圆心设置；光束发射组件通过光束发射头发射的光线经待测晶圆反射后到达光束接收头，光束接收组件通过光束接收头接收光线。本实用新型解决了要同时检测硅片和碳化硅片两种晶圆时和碳化硅片间因型号不同而无法识别的问题。

主权项：1.一种晶圆识别装置，其特征在于，包括：光束发射组件4、光束发射头1、光束接收组件5以及光束接收头3；所述光束发射组件4与所述光束发射头1通过光纤连接，所述光束接收组件5与所述光束接收头3通过光纤连接；所述光束发射头1和所述光束接收头3设置在待测晶圆2的同一侧，所述光束发射头1和所述光束接收头3位于同一平面内；所述光束发射头1的发射端朝向待测晶圆2的圆心设置，所述光束接收头3的接收端朝向所述待测晶圆2的圆心设置；所述光束发射组件4通过所述光束发射头1发射的光线经所述待测晶圆2反射后到达所述光束接收头3，所述光束接收组件5通过所述光束接收头3接收光线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 淄博绿能芯创电子科技有限公司 晶圆识别装置

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