申请/专利权人:三星显示有限公司
申请日:2022-11-21
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116165840A
主分类号:G03F1/84
分类号:G03F1/84
优先权:["20211124 KR 10-2021-0163246"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2023.05.26#公开
摘要:一实施例涉及的掩模检查系统包括:工作台;掩模,包括彼此对置的第一面和第二面,以竖立的状态被放置到所述工作台;第一相机和第一照明器,位于所述掩模的所述第一面侧;以及第二相机和第二照明器,位于所述掩模的所述第二面侧。
主权项:1.一种掩模检查系统,包括:工作台;掩模,包括彼此对置的第一面和第二面,以竖立的状态被放置到所述工作台;第一相机和第一照明器,位于所述掩模的所述第一面侧;以及第二相机和第二照明器,位于所述掩模的所述第二面侧。
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