申请/专利权人:浙江焜腾红外科技有限公司
申请日:2022-12-27
公开(公告)日:2023-06-23
公开(公告)号:CN116314425A
主分类号:H01L31/109
分类号:H01L31/109;H01L31/0304
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.07.11#实质审查的生效;2023.06.23#公开
摘要:本发明公开了一种带势垒层的InAsSb中波红外探测器材料结构,包括有从下往上依次设置的衬底、n型重掺InAsSb下电极层、n型InAsSb吸收层、AlAsSb势垒层以及n型重掺InAsSb上电极层。该结构可以明显降低材料内部的产生‑复合G‑R和肖克莱‑里德‑霍尔SRH暗电流,显著提升探测器的工作温度,改善探测器组件的尺寸、重量、功耗和成本,改善探测器的使用寿命和性能。
主权项:1.一种带势垒层的InAsSb中波红外探测器材料结构,其特征在于,包括有从下往上依次设置的衬底、n型重掺InAsSb下电极层、n型InAsSb吸收层、AlAsSb势垒层以及n型重掺InAsSb上电极层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 浙江焜腾红外科技有限公司 一种带势垒层的InAsSb中波红外探测器材料结构
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