申请/专利权人：兰州大学

申请日：2021-01-22

公开（公告）日：2023-06-27

公开（公告）号：CN112729604B

主分类号：G01K11/32

分类号：G01K11/32;G01L9/08;G01N21/45

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.27#授权;2021.05.21#实质审查的生效;2021.04.30#公开

摘要：本发明公开了一种基于双环产生的fano谐振的三维光传感器件，平行设置的直波导和侧边不等长的第一U型波导，第一U型波导较短侧边朝向直波导，直波导和第一U型波导较短侧边间有第一微环谐振器；直波导与第一U型波导较长侧边之间有第二微环谐振器和侧边不等长的第二U型波导，两个U型波导开口方向相同；两个微环谐振器与直波导间的距离不相同；直波导上有第一传感区，第一U型波导较长侧边上有第二传感区；第一微环谐振器上有第三传感区；第二微环谐振器上有第四传感区。该传感器件通过传感区实现三个维度的传感，进行高灵敏度的传感，凭借光传输速度快、抗电磁干扰能力强、传感响应快等特点，在未来的远距离高速传感领域发挥重要的作用。

主权项：1.一种基于双环产生的fano谐振的三维传感器件，其特征在于，包括平行设置的直波导（3）和侧边不等长的第一U型波导（1），第一U型波导（1）较短侧边朝向直波导（3），直波导（3）和第一U型波导（1）较短侧边之间设有第一微环谐振器（2）；沿直波导（3）到第一U型波导（1）的方向、直波导（3）与第一U型波导（1）较长侧边之间依次设有第二微环谐振器（5）和侧边不等长的第二U型波导（6），第二U型波导（6）较长侧边朝向第二微环谐振器（5），第二U型波导（6）较短侧边与第一U型波导（1）较长侧边相邻，第一U型波导（1）和第二U型波导（6）的开口方向相同；第一微环谐振器（2）和直波导（3）之间的距离小于第二微环谐振器（5）和直波导（3）之间的距离；直波导（3）上构建有第一传感区（4），第一传感区（4）处于第一微环谐振器（2）和第二微环谐振器（5）之间；第一U型波导（1）较长侧边上构建有第二传感区（7）；第一微环谐振器（2）上构建有第三传感区（8）；第二微环谐振器（5）上构建有第四传感区（9）；第一微环谐振器（2）和第二微环谐振器（5）的半径相同，且波导结构一致；第一微环谐振器（2）与直波导（3）之间的距离与第一微环谐振器（2）和第一U型波导（1）之间的距离相同；第二微环谐振器（5）和直波导（3）之间的距离与第二微环谐振器（5）和第二U型波导（6）之间的距离相同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 兰州大学 基于双环产生的fano谐振的三维传感器件

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD