申请/专利权人：上海安路信息科技股份有限公司

申请日：2023-12-01

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117636035A

主分类号：G06V10/764

分类号：G06V10/764;G06V10/774;G06T7/00;G06F18/2413

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明提供一种基于最近邻算法的晶圆图批量分析方法，包括：获取晶圆图；基于最近邻算法构建晶圆图分析模型；利用训练集对晶圆图分析模型进行训练；利用训练后的晶圆图分析模型对晶圆图进行分析预测，以得到晶圆图的分析预测结果，所述分析预测结果包括预测的缺陷模式。本发明由于采用最近邻算法构建晶圆图分析模型，使得晶圆图分析模型的训练时间较短，且能够自动迭代更新，有利于提高分析预测的效率和准确率；通过晶圆图分析模型对晶圆图进行分析预测，能够按照统一标准对晶圆图数据进行批量处理，更有利于及时发现工艺问题。解决了现有人工分析晶圆图所存在的时效性差、成本高且识别准确率低的问题。

主权项：1.一种基于最近邻算法的晶圆图批量分析方法，其特征在于，包括：获取晶圆图；基于最近邻算法构建晶圆图分析模型；利用训练集对晶圆图分析模型进行训练；利用训练后的晶圆图分析模型对晶圆图进行分析预测，以得到晶圆图的分析预测结果，所述分析预测结果包括预测的缺陷模式。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海安路信息科技股份有限公司 基于最近邻算法的晶圆图批量分析方法及装置

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