申请/专利权人：西安航天动力研究所

申请日：2021-11-01

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN113857684B

主分类号：B23K26/362

分类号：B23K26/362

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.01#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开

摘要：本发明提供了一种金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工方法，主要解决了传统激光刻蚀路径设计方法无法实现不规则形状刻痕加工以及网格点集填充激光刻蚀路径导致加工效率较低的问题。本发明首先对Ω形刻痕图样进行规则图形的拆分和还原，其次采用点集制图软件生成Ω形刻痕点集群，并基于点集群进行Ω形刻痕路径的设计并进行初步绘制；再次使用皮秒激光加工工艺进行Ω形刻痕的加工；最后对出现的缺陷进行修正后完成金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工。本发明提供的设计方法可用于大尺寸、任意刻痕深度、任意材料的Ω形刻痕金属膜片的皮秒激光加工，进而将带有Ω形刻痕的金属膜片应用于液体火箭发动机膜片阀。

主权项：1.一种金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，依据金属膜片Ω形刻痕的图样，进行规则图形的拆分和还原，将Ω形拆分成圆弧段和直线段，并将圆弧段还原成对应的圆形；步骤2，采用点集制图软件定义步骤1中所述圆形的圆心坐标、圆形的半径、点集圈数、单圈点个数及相位，形成圆形点集群；采用CAD制图软件定义步骤1中所述直线段的起始点和终止点的坐标，形成直线段点集群；步骤3，采用CAD制图软件基于步骤2所形成的点集群进行Ω形的单线激光刻蚀路径的设计；步骤4：采用CAD制图软件在单线激光刻蚀路径的基础上，将多个相邻的不同相位的单线Ω形激光刻蚀路径组合在一起，形成Ω形刻痕基体；基于Ω形刻痕基体采用偏移复制实现Ω形刻痕刻蚀路径的初步绘制，得到Ω形刻痕的设计数据；步骤5，采用步骤4所得设计数据，使用皮秒激光加工工艺进行金属膜片Ω形刻痕的加工；步骤6，对步骤5所得的Ω形刻痕，采用3D激光测量仪对刻痕深度及其底部形貌进行测量分析，得到不同位置局部刻痕深度均值和底部形貌的数据；若所得数据与Ω形刻痕的设计数据一致，则完成金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工；若所得数据与Ω形刻痕的设计数据不一致，则执行步骤7；步骤7，对测量数据与Ω形刻痕的设计数据不一致的位置进行局部缺陷修正，完成金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工，得到所需要的金属膜片Ω形刻痕。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安航天动力研究所 一种金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工方法

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