申请/专利权人：武汉大学

申请日：2023-11-07

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN117650755A

主分类号：H02S50/15

分类号：H02S50/15;G01R31/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明属于半导体器件检测技术领域，公开了一种应用于光电器件的载流子动力学测试方法及系统。本发明将锁相放大器的参考输出信号作为激发光光源的调制驱动信号，并将校准后的激发光光束聚焦于光电器件表面，将光电器件与负载电阻并联形成回路，利用背景光光源提供稳态偏置的背景光并照射光电器件；选定扫描区域并逐点扫描，得到光强度调制测试信息和反射光强度信息；完成全部轮次的扫描后，得到光电器件表面的强度调制光电流光电压二维扫描频谱图像，进而计算得到光电器件的载流子动力学信息。本发明能获得处于工作状态下的光电器件的载流子迁移率与寿命信息，同时具有空间分辨能力。

主权项：1.一种应用于光电器件的载流子动力学测试方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将锁相放大器的参考输出信号作为激发光光源的调制驱动信号，利用校准设备对所述激发光光源的光强进行测量；通过调整所述锁相放大器的参考输出信号，使所述激发光光源的光强中的正弦分量的幅值小于稳态分量的10％；步骤2、将光电器件与负载电阻并联形成回路，同时打开背景光光源以提供稳态偏置的背景光并照射所述光电器件，以填充所述光电器件的缺陷态，模拟所述光电器件的正常运行情况；使所述激发光光源发出的激发光光束聚焦在所述光电器件表面，利用图像单元获得显微摄影图像；将所述锁相放大器与所述回路连接，以进行强度调制光电流光电压测试；步骤3、选定扫描区域，选取当前轮次下所述锁相放大器的参考频率；基于设定的步长对所述光电器件进行该轮次的扫描，得到光强度调制测试信息和反射光强度信息；所述光强度调制测试信息为所述光电器件的光电流光电压正弦分量的幅值与相位的二维扫描图像；步骤4、选取一系列的所述锁相放大器的参考频率，在每一个选取的参考频率下均重复执行一次步骤3；完成全部轮次的扫描后，得到所述光电器件表面的强度调制光电流光电压二维扫描频谱图像；步骤5、基于所述光电器件表面的强度调制光电流光电压二维扫描频谱图像，得到所述光电器件的载流子动力学信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉大学 一种应用于光电器件的载流子动力学测试方法及系统

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