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【发明公布】一种基于苝酰亚胺制备超大单晶晶体管器件的方法_巢湖学院_202311720432.5 

申请/专利权人:巢湖学院

申请日:2023-12-14

公开(公告)日:2024-03-12

公开(公告)号:CN117693269A

主分类号:H10K71/12

分类号:H10K71/12;H10K71/40;H10K71/00;H10K10/46;B82Y10/00;B82Y40/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要:本发明公开了一种基于苝酰亚胺制备超大单晶晶体管器件的方法,涉及有机光电子技术领域,包括以下步骤:准备好SiSiO2衬底;随后对衬底进行表面处理;再将苝酰亚胺超大单晶分散液滴于衬底表面;将干净的纸片盖于溶液表面,促进溶剂挥发和单晶均匀分散;随后对器件进行热处理,以使单晶与衬底表面有良好的接触;然后将器件送入蒸镀舱,蒸镀金电极,作为晶体管器件的源、漏电极;本发明制备工艺简单、不受固体表面特性和溶剂沸点的影响,可操控性强且重复率高,容易在稳定的环境中形成分子排列有序、结晶度高,内部缺陷少的超大单晶,更有利于后续器件的制备,其次本发明制备的苝酰亚胺超大单晶比表面积大,作为平面器件的活性层,电子传输能力更强。

主权项:1.一种基于苝酰亚胺制备超大单晶晶体管器件的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、准备好SiSiO2衬底;随后对衬底进行表面处理;S2、再将苝酰亚胺超大单晶分散液滴于衬底表面;S3、将干净的纸片盖于溶液表面,促进溶剂挥发和单晶均匀分散;S4、随后对器件进行热处理,以使单晶与衬底表面有良好的接触;S5、然后将器件送入蒸镀舱,蒸镀金电极,作为晶体管器件的源、漏电极,从而得到单晶晶体管器件;所述单晶晶体管器件的结构从下到上由以下几个部分组成:采用Si作为器件的的栅极,同时作为整个器件的衬底,为器件提供栅压;采用SiO2作为器件的介电层,栅压通过介电层在半导体界面吸引电荷;采用PTCDI-C8作为器件的活性层,为器件提供导电通道;采用Au作为器件的源、漏电极,促进半导体中载流子的传输与收集。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 巢湖学院 一种基于苝酰亚胺制备超大单晶晶体管器件的方法

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