申请/专利权人：无锡星微科技有限公司

申请日：2024-02-08

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727684A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/683

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆真空搬运机械手，具体涉及晶圆加工技术领域。本发明提供的一种晶圆真空搬运机械手包括第一基板，第一基板上设置有推移组件，当推移组件在第一电机的推动作用下使晶圆逐渐卡入限位环槽时，第一推板与推移基板之间设置的第一伸缩杆受晶圆的反作用力而发生收缩，当卸下晶圆时受第三弹簧的作用力影响下第一伸缩杆重新回到原来的长度，设置第一伸缩杆以及第三弹簧一方面能够避免晶圆在推入限位环槽时前后两侧均收到挤压力而导致晶圆变形，并且设置有的第一伸缩杆以及第三弹簧能够吸收晶圆装夹过程中产生的震动，避免晶圆装夹前后推移组件发生偏移。

主权项：1.一种晶圆真空搬运机械手，包括，基座（11），所述基座（11）上转动连接有第二臂体（12），所述第二臂体（12）上转动连接有第一臂体（13），所述第一臂体（13）上转动连接有第一基板（14），其特征在于，所述第一基板（14）一端连接有放置基体（15），所述第一基板（14）一侧设置有至少两个第一电机（16），所述第一电机（16）输出端连接有推移组件（2），所述推移组件（2）具有三块推移基板（21），其中一块推移基板（21）侧面连接有第一伸缩杆（22），所述第一伸缩杆（22）一端连接有第一推板（23），相邻的推移基板（21）之间采用固定连接方式，所述推移组件（2）还包括有至少两根转动轴（231），所述第一推板（23）侧方通过转动轴（231）连接有第二推板（24），所述第一伸缩杆（22）外侧套设有第三弹簧（221），所述第三弹簧（221）端部分别与所述推移基板（21）和第一推板（23）表面连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡星微科技有限公司 一种晶圆真空搬运机械手

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