申请/专利权人：常州元晶摩尔微电子有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727715A

主分类号：H01L23/467

分类号：H01L23/467;H01L23/433;B81B7/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种压电式MEMS散热器，包括：散热器底座包括中央区和环绕中央区的边缘区，边缘区包括多个进气口和多个出气口；止回阀层包括进气阀和出气阀阵列，进气阀覆盖进气口，出气阀覆盖出气口；压电执行器层设置于止回阀层远离散热器底座的一侧，压电执行层包括第一基底、设置于第一基底一侧的多个压电振动单元；第一基底与散热器底座以及止回阀层形成空腔；第一基底包括多个通孔，每一通孔对应设置一压电振动单元，压电振动单元用于接收电信号时振动，使空腔内的气体通过出气阀和出气口排出或者使外部气体通过进气口和进气阀进入空腔。本发明提供了一种具备更小尺寸、更低功耗、低噪音的微小型散热器。

主权项：1.一种压电式MEMS散热器，其特征在于，包括：压电执行器层、止回阀层以及散热器底座；所述散热器底座包括中央区和环绕所述中央区的边缘区，所述边缘区包括多个进气口和多个出气口；所述止回阀层包括多个进气阀和多个出气阀，所述进气阀覆盖所述进气口，所述出气阀覆盖所述出气口；所述压电执行器层设置于所述止回阀层远离所述散热器底座的一侧，所述压电执行层包括第一基底、设置于所述第一基底远离所述散热器底座一侧的多个压电振动单元；所述第一基底与所述散热器底座以及所述止回阀层形成空腔；所述第一基底包括多个第一通孔，每一所述第一通孔对应设置一所述压电振动单元，所述压电振动单元用于接收电信号时振动，使所述空腔内的气体通过所述出气阀和所述出气口排出或者使外部气体通过所述进气口和所述进气阀进入所述空腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州元晶摩尔微电子有限公司 一种压电式MEMS散热器

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