申请/专利权人：松山湖材料实验室;中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日：2020-06-30

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN111710636B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.10.26#专利申请权的转移;2020.10.27#实质审查的生效;2020.09.25#公开

摘要：本申请提供一种晶圆收纳盒及晶圆组件，涉及晶圆收纳领域。晶圆收纳盒包括可开合设置的盒体以及调节件，其中盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽；调节件用于安装于第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆，其结构简单且操作方便，能够满足在一个晶圆收纳盒内进行多尺寸晶圆的收纳需求，同时无需针对晶圆的尺寸差异而采用不同的晶圆收纳盒，通用性强。

主权项：1.一种晶圆收纳盒，其特征在于，包括：可开合设置的盒体，所述盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽，所述盒体的开合处作为存放开口；以及调节件，用于安装于所述第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆，所述盒体处于打开状态时，每个所述第一容纳槽以及所述第二容纳槽分别与所述存放开口连通；所述盒体具有可选择性地向所述盒体内输送压缩气体的进气口，以及可选择性地对所述盒体内抽真空的出气口；所述进气口与所述出气口均位于所述盒体的顶壁；盒体由两个盒体单元对接所得，每个所述盒体单元设有12的所述第一容纳槽，通过两个所述盒体单元对接使两个12的第一容纳槽对接并形成完整的所述第一容纳槽，同时所述存放开口位于对接面。

全文数据：

权利要求：

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