申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

申请日：2021-08-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN113687215B

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.12.10#实质审查的生效;2021.11.23#公开

摘要：本申请涉及一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法，其包括以下步骤：在世界坐标系中锚定第一标识点并建立第一坐标系；使晶圆盘上的各测试点逐个与第一标识点对位，计算得到各测试点在第一坐标系上的坐标集合[Xa,Ya]；锚定第二标识点于晶圆盘，移动晶圆盘以使第一标识点和第二标识点相对位；在世界坐标系中基于第二标识点的位置建立第二坐标系；使第二标识点逐个与探针卡上的探针点对位，计算得到各探针点在第二坐标系上的坐标集合[Xb,Yb]；计算坐标集合[Xa,Ya]与坐标集合[Xb,Yb]的变换矩阵，确定各个探针点与各个测试点在X、Y轴上的位置关系。探针卡和第一视觉系统都始终处于固定的状态，因此探针不会出现运动精度不稳定的情况，提高了探针与测试点的对位精度。

主权项：1.一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.在世界坐标系中锚定第一标识点并建立第一坐标系，在晶圆盘的上方设置第一视觉系统5，其中，第一视觉系统5具有第一视觉图像获取单元51，第一视觉图像获取单元51的中心点位于第一标识点上；S2.移动晶圆盘以使得晶圆盘上的各测试点逐个与第一标识点对位，同时获得晶圆盘在第一坐标系中各次的移动信息，以计算得到各测试点在第一坐标系上的坐标集合[Xa,Ya]，改变晶圆盘的高度并移动晶圆盘以使得晶圆盘上的各测试点逐个与第一视觉图像获取单元51的中心点对位，以使得各测试点均能够在第一视觉系统5中清晰成像，同时获得晶圆盘各次的移动信息，圆盘在第一坐标系Z轴的移动距离为ΔZ1，以计算得到各测试点在第一坐标系上的坐标集合[Xa,Ya,Za]；S3.锚定第二标识点于晶圆盘，移动晶圆盘以使第一标识点和第二标识点相对位，对位完成后晶圆盘回到初始高度位置，晶圆盘间接固定连接有第二视觉系统6，其中，第二视觉系统6具有第二视觉图像获取单元61，第二视觉图像获取单元61的中心点位于第二标识点上；第一视觉系统5内具有第一标识图像，第二视觉系统6内具有第二标识图像，第一标识图像与第一标识点对位，第二标识图像与第二标识点对位，其中，第一视觉图像获取单元51与第二视觉图像获取单元61之间的距离设置为H；在第一坐标系的X、Y方向上移动晶圆盘并改变晶圆盘的高度，以使得第一标识图像能够在第二视觉系统6中清晰成像，并将第一标识图像和第二标识图像找准对齐，从而完成第一标识点与第二标识点在第一坐标系X、Y方向上的校准，第二视觉图像获取单元61的中心点在第一坐标系Z轴方向上的运动距离为ΔZ2，对位完成后晶圆盘回到初始高度位置；S4.在世界坐标系中基于第二标识点的位置建立第二坐标系；S5.移动晶圆盘以使得第二标识点逐个与探针卡21上的探针点对位，同时获得晶圆盘各次的移动信息，以计算得到各探针点在第二坐标系上的坐标集合[Xb,Yb]，在第二坐标系的X、Y方向上移动晶圆盘并改变晶圆盘的高度，以使第二标识图像逐个对准探针卡21上的探针点，以使得探针点能够在第二视觉系统6中清晰成像，第二视觉图像获取单元61的中心点在第一坐标系Z轴方向上的运动距离为ΔZ3，同时获得晶圆盘各次的移动信息，以计算得到各探针点在第二坐标系上的坐标集合[Xb,Yb,Zb]；S6.计算坐标集合[Xa,Ya]与坐标集合[Xb,Yb]的变换矩阵，以确定各个探针点与各个测试点在X、Y轴上的位置关系；S7.控制晶圆盘运动，以使得晶圆盘上至少一个测试点与对应探针点接触，同时获得晶圆盘此次的移动信息；S8.坐标集合[Xa,Ya,Za]与坐标集合[Xb,Yb,Zb]的变换矩阵为测试变换矩阵，使用步骤S7中的移动信息与测试变换矩阵进行校正；S9.自动控制探针卡21对晶圆盘进行全自动测试并记录相应数据信息。

全文数据：

权利要求：

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