申请/专利权人：无锡奇众电子科技有限公司

申请日：2023-05-10

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627764U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的盖板中分别对盖板进行定位及配合操作块转动解锁以取下盖板，操作块与移动支架之间还设有转动导向机构。本实用新型能够实现单人快速开盖、快速锁盖，晶圆盒位置绝对固定，开盖后盖板无需另外存放，锁盖时无需校准位置，可以快速、准确、安全的锁盖。

主权项：1.一种晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：包括固定底座1，固定底座1上设有用于定位安装晶圆盒A的水平定位机构2，固定底座1的一侧设有开盖机构3，开盖机构3可滑动安装在滑轨4上；所述开盖机构3包括移动支架31、设于移动支架31上的垂直定位机构32和解锁组件33、通过联动机构与解锁组件33连接的操作块34，垂直定位机构32和解锁组件33能够伸入晶圆盒A的盖板B中分别对盖板B进行定位及配合操作块34转动解锁以取下盖板B，操作块34与移动支架31之间还设有转动导向机构35。

全文数据：

权利要求：

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