申请/专利权人：山东理工大学

申请日：2021-07-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113532540B

主分类号：G01D21/02

分类号：G01D21/02;B81B7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.11.09#实质审查的生效;2021.10.22#公开

摘要：本发明涉及一种电桥式MEMS传感结构，属于MEMS检测技术领域，主要适用于气体传感器、压力传感器、麦克风传感器等。其包括两个悬空的传感器平台，分别为检测平台和对比平台，两个平台皆由支撑梁、传感平台、加热电极、敏感电极组成。传感平台通过支撑梁支撑在一个硅空腔体结构上，加热电极、敏感电极排布在传感平台上，并通过支撑梁与外界实现电学连接，对比平台上设置有可调电阻，调节两平台阻值相等。所公开的传感结构具有低串扰性、通用性强、稳定性高、功耗低等优点。

主权项：1.基于电桥式MEMS传感结构，其特征在于：电桥式MEMS传感结构由两个悬空的传感平台组合而成，其分别为检测平台（1）和对比平台（2），各平台用四个支撑梁（13）在硅空腔（12）上方支撑起一个悬空结构传感平台，其中检测平台（1）上加工有两个检测电阻（3,4），对比平台上加工有两个对比电阻（5,6）和两个可调电阻（16,17），检测平台上加工有加热电极（18），对比平台没有加热电极（18），当加热电极（18）升温至工作温度时，若出现温度影响两平台阻值不相等，通过对比平台（2）上的可调电阻（16,17），在可调电阻（16,17）的补偿下，使得对比电阻（5,6）和检测电阻（3,4）的阻值相等，当传感平台发生反应时，第一检测电阻（3）和第二检测电阻（4）的阻值发生变化，第一对比电阻（5）和第二对比电阻（6）阻值不变，通过测量第四Pad点（10）和第五Pad点（11）之间的电势差即可得到待测物的信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东理工大学 一种悬空电桥式MEMS传感结构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD