申请/专利权人：AGC株式会社

申请日：2022-04-27

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116395981B

主分类号：C03C17/34

分类号：C03C17/34;H01L31/02

优先权：["20210507 JP 2021-079334"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.07.25#实质审查的生效;2023.07.07#公开

摘要：本发明涉及带有透明导电膜的玻璃基板及其制造方法。本发明涉及一种带有透明导电膜的玻璃基板，所述带有透明导电膜的玻璃基板依次包含玻璃基板、底涂层和透明导电膜，其中，所述底涂层包含以硅的氧化物类作为主要成分的层，所述透明导电膜的主要成分为SnO2，所述透明导电膜含有氟原子作为掺杂剂，并且通过如下的耐热试验，由下式1求出的电阻变化率为2以下，耐热试验：在设定为700℃并且保持在氮气气氛下的输送式传送带式炉中，在以11.2mm分钟的速度输送所述带有透明导电膜的玻璃基板的同时将其加热116分钟。式1电阻变化率＝耐热试验后的透明导电膜的薄层电阻值耐热试验前的透明导电膜的薄层电阻值。

主权项：1.一种带有透明导电膜的玻璃基板，所述带有透明导电膜的玻璃基板依次包含玻璃基板、底涂层和透明导电膜，其中，所述底涂层包含以硅的氧化物类作为主要成分的层，所述透明导电膜的主要成分为SnO2，所述透明导电膜含有氟原子作为掺杂剂，并且通过如下的耐热试验，由下式1求出的电阻变化率为2以下，耐热试验：在设定为700℃并且保持在氮气气氛下的输送式传送带式炉中，在以11.2mm分钟的速度输送所述带有透明导电膜的玻璃基板的同时将其加热116分钟，所述透明导电膜的载流子浓度与每1cm3的透明导电膜中的氟离子量的关系满足下式2，所述载流子浓度为2.0×1020cm-3以上，式1电阻变化率＝耐热试验后的透明导电膜的薄层电阻值耐热试验前的透明导电膜的薄层电阻值，式2载流子浓度cm-3＞0.45×氟离子量cm-3+1.5×1020。

全文数据：

权利要求：

百度查询： AGC株式会社 带有透明导电膜的玻璃基板及其制造方法

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