申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220642592U

主分类号：B81B3/00

分类号：B81B3/00;B81B7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供一种MEMS电容结构，包括同心设置的第一电极和第二电极，第一电极包括第一电极锚定部以及交汇于第一电极锚定部的至少一组第一极板；第二电极包括位于第一电极外围的第二电极锚定部以及自第二电极锚定部延伸向第一电极锚定部的至少一组第二极板，每组第二极板包括沿径向排布的多个第二梳齿部，第一极板与第二极板围绕第一电极锚定部设置成使第一梳齿部与第二梳齿部插齿排列，第一梳齿部或第二梳齿部上设置有凸出部，位于第一连接部或第二连接部两侧的凸出部具有相反的凸出方向以将温度引起的电容容值变化相互抵消。本实用新型不仅可降低外部应力冲击的影响，而且可有效降低电容容值的温度敏感性。

主权项：1.一种MEMS电容结构，其特征在于，所述MEMS电容结构包括：同心设置的第一电极和第二电极，所述第一电极包括第一电极锚定部以及交汇于所述第一电极锚定部的至少一组第一极板，每组第一极板包括沿径向排布且附接于所述第一电极锚定部的多个第一梳齿部；所述第二电极包括位于所述第一电极外围的第二电极锚定部以及自所述第二电极锚定部延伸向所述第一电极锚定部的至少一组第二极板，每组第二极板包括沿径向排布且附接于所述第二电极锚定部的多个第二梳齿部；其中，所述第一极板与所述第二极板围绕所述第一电极锚定部设置成使多个所述第一梳齿部与多个所述第二梳齿部插齿排列，每组第一极板还包括自所述第一电极锚定部径向延伸的第一连接部，所述第一连接部与同组的多个第一梳齿部交叉连接以将多个所述第一梳齿部附接于所述第一电极锚定部上，各第一梳齿部上设置有朝向邻近的第二梳齿部凸出的凸出部，并且所述第二梳齿部与邻近的所述第一梳齿部至少部分交叠以于所述凸出部与所述第二梳齿部之间构成电容，分布于所述第一连接部一侧的凸出部与分布于所述第一连接部另一侧的凸出部具有相反的凸出方向以将温度引起的电容容值变化相互抵消。

全文数据：

权利要求：

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