申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220653348U

主分类号：H03H9/24

分类号：H03H9/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供一种单端口MEMS谐振器，包括谐振体、谐振体锚点、驱动电极以及检测电极，通过将驱动电极之间用引线互联使驱动电压的输入端口只有一个，并将检测电极进行引线互联使检测信号的输出端口只有一个，从而减少了输入端口和输出端口，进而增大了驱动面积和检测面积，增强了信号强度，降低了MEMS谐振器的阻抗，此外，本实用新型中的谐振体锚点之间也进行了引线互联，且锚点之间、检测电极之间以及驱动电极之间的走线方式简单，更好地降低了MEMS谐振器的寄生电容，且由于只有一个输入端口和一个输出端口，使得该MEMS谐振器在与其它后端电路联用时能够减少后端电路的复杂性，降低整个器件的功耗。

主权项：1.一种单端口MEMS谐振器，其特征在于，所述单端口MEMS谐振器包括：谐振体，所述谐振体的数量至少为两个且位于连接梁的两端，用于产生谐振；电极，所述电极包括驱动电极和检测电极，其中，所述驱动电极和所述检测电极均只设一个电性接口，所述驱动电极提供交流电压，用于诱导所述谐振体产生谐振，所述检测电极用于检测所述谐振体产生的谐振；谐振体锚点，所述谐振体锚点与相邻的两个所述连接梁连接，用于将所述谐振体和所述连接梁支撑在衬底上，且所述谐振体锚点之间电性连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 一种单端口MEMS谐振器

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