申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651995U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;F26B5/08;F26B25/00;F26B25/02;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型属于晶圆甩干夹持技术领域，公开了晶圆甩干装置，该晶圆甩干装置的晶圆载台用于放置晶圆，并能够旋转以甩出晶圆上的液态水，多个活动夹持机构均能够相对于晶圆载台运动而具有夹持位置和非夹持位置，当多个活动夹持机构均位于夹持位置时，多个活动夹持机构均与晶圆抵接，并能够夹持放置于晶圆载台的晶圆，从而当晶圆载台旋转时防止晶圆被甩出；当活动夹持机构位于非夹持位置时，活动夹持机构与晶圆分离，此时可安装或取下晶圆，挡水罩设置于晶圆载台，挡水罩能够相对于晶圆载台运动，以带动活动夹持机构朝向非夹持位置运动，使用者可通过调整挡水罩的位置的方式带动活动夹持机构运动至非夹持位置，然后即可进行晶圆的拆装。

主权项：1.晶圆甩干装置，其特征在于，包括：晶圆载台1，用于放置晶圆，且所述晶圆载台1能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆转动，并甩出所述晶圆上的液态水；活动夹持机构2，设置有多个，多个所述活动夹持机构2均能够相对于所述晶圆载台1运动而具有夹持位置和非夹持位置，当多个所述活动夹持机构2均位于夹持位置时，多个所述活动夹持机构2均与所述晶圆抵接，并能够夹持放置于所述晶圆载台1的晶圆，当所述活动夹持机构2位于非夹持位置时，所述活动夹持机构2与所述晶圆分离；挡水罩3，设置于所述晶圆载台1，所述挡水罩3能够相对于所述晶圆载台1运动，以带动所述活动夹持机构2朝向非夹持位置运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波芯丰精密科技有限公司 晶圆甩干装置

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