申请/专利权人：杭州长川科技股份有限公司

申请日：2023-06-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220637946U

主分类号：B25J15/06

分类号：B25J15/06;B25J15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本申请涉及半导体检测技术领域，提供了一种搬运装置。该搬运装置包括支撑基板、横梁模组和机械手；沿支撑基板的厚度方向，位于支撑基板上表面的为第一安装空间，位于支撑基板下表面的为第二安装空间；横梁模组和机械手均安装于第二安装空间内，横梁模组连接于支撑基板，机械手滑动连接于横梁模组。本申请提供的搬运装置利用支撑基板的设置，增大了可实际承载的面积，且能够缩减真空气路，提高真空响应时间，缩减机械手负载，提高搬运稳定性。

主权项：1.一种搬运装置，其特征在于，所述搬运装置包括支撑基板10、横梁模组20和机械手30；沿所述支撑基板10的厚度方向，位于所述支撑基板10上表面的为第一安装空间110，位于所述支撑基板10下表面的为第二安装空间120；所述横梁模组20和所述机械手30均安装于所述第二安装空间120内，所述横梁模组20连接于所述支撑基板10，所述机械手30滑动连接于所述横梁模组20。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州长川科技股份有限公司 搬运装置

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