申请/专利权人：深圳市汉诺精密科技有限公司

申请日：2023-08-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220650819U

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28;G01R1/02;G01R1/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本申请涉及晶圆检测技术领域,公开了一种晶圆检测平台，晶圆检测平台包括平台底座、物料储存模组、取料模组、物料校准模组以及物料检测模组；物料储存模组、取料模组、物料校准模组以及物料检测模组设于平台底座；其中，物料储存模组内设有物料储存空间，用于储存放置待检测物料；取料模组装配于平台底座，取料模组包括第一取料臂和第二取料臂；物料校准模组设有物料校准区，用于放置待检测物料并且校准待检测物料的放置坐标；物料检测模组包括检测单元，用于检测物料；其中，第一取料臂将物料储存模组的物料取出后放置于物料校准模组，第二取料臂将置于物料校准模组的物料取出后置于物料检测模组。其有益效果是可以实现物料的全自动检测。

主权项：1.一种晶圆检测平台，其特征在于，包括平台底座、至少一个物料储存模组、取料模组、物料校准模组以及物料检测模组；所述物料储存模组、所述取料模组、所述物料校准模组以及所述物料检测模组设于所述平台底座；其中，所述物料储存模组内设有物料储存空间，用于储存放置待检测物料；所述取料模组可移动的装配于所述平台底座，所述取料模组包括第一取料臂和第二取料臂；所述物料校准模组设有物料校准区，用于放置所述待检测物料并且校准所述待检测物料的放置坐标；所述物料检测模组包括检测单元，用于检测所述待检测物料；其中，所述第一取料臂用于将所述物料储存模组的物料取出后放置于所述物料校准模组，所述第二取料臂用于将置于所述物料校准模组的所述物料取出后置于所述物料检测模组。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市汉诺精密科技有限公司 一种晶圆检测平台

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