申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117763212A

主分类号：G06F16/9035

分类号：G06F16/9035;H01L21/67;G06N20/00

优先权：["20220926 JP 2022-152398"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明提供一种支援装置、支援方法、基板处理系统及存储介质。支援装置200支援基板处理装置100的参数的值X2的调整。参数包含被检测对应的物理量Z1的检测对象参数。支援装置的运算处理部201使第1机器学习模型M1学习品质数据Y及与物理量相关的检测数据Z2来构建预测模型PM。运算处理部基于预测模型、采集函数AF、搜索范围SW执行贝叶斯优化，获取检测数据推荐值Z3。运算处理部使第2机器学习模型M2学习参数的值和检测数据。运算处理部将检测数据推荐值输入至学习后的第2机器学习模型，输出参数推荐值RX1。

主权项：1.一种支援装置，其对基板处理装置的参数的值的调整进行支援，所述基板处理装置基于所述参数进行动作而对基板进行处理，所述支援装置的特征在于，所述参数包含检测对象参数，与所述检测对象参数对应的物理量被检测，所述支援装置具备运算处理部，该运算处理部使用第1机器学习模型和第2机器学习模型输出参数推荐值，所述参数推荐值为所述参数的值的推荐值，所述运算处理部使所述第1机器学习模型学习第1训练数据来构建预测基板处理的品质的预测模型，所述第1训练数据包含与所述物理量相关的检测数据、和与所述基板处理装置进行的所述基板处理的品质相关的品质数据，所述运算处理部基于所述预测模型、采集函数、和搜索范围执行贝叶斯优化，获取检测数据推荐值，所述检测数据推荐值为使所述基板处理的品质接近目标品质的所述检测数据的推荐值，所述运算处理部使所述第2机器学习模型学习第2训练数据，所述第2训练数据包含所述检测数据、和在检测所述物理量时设定的所述检测对象参数的值，所述运算处理部将所述检测数据推荐值输入至学习后的所述第2机器学习模型，将所述检测数据推荐值转换为所述参数推荐值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 支援装置、支援方法、基板处理系统及存储介质

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