申请/专利权人：西安交通大学

申请日：2023-10-24

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117758355A

主分类号：C30B15/10

分类号：C30B15/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本申请实施例提供一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，属于连续直拉法晶体装置技术领域，包括：炉体以及设置所述炉体内的外坩埚和内坩埚，所述内坩埚位于所述外坩埚内，且所述内坩埚与所述外坩埚的内壁之间具有间隙；所述内坩埚上设置有安装环，所述炉体内设置有安装部，所述安装环设置在所述安装部上，且所述安装环能够在所述安装部上以自身圆心转动；驱动装置，与所述安装环连接，所述驱动装置用于驱动所述安装环在所述安装部上转动，以带动所述内坩埚相对于所述外坩埚发生转动。通过本申请实施例提供的一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，可以充分搅拌熔体，降低晶界面处的杂质含量。

主权项：1.一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于，包括：炉体以及设置所述炉体内的外坩埚和内坩埚，所述内坩埚位于所述外坩埚内，且所述内坩埚与所述外坩埚的内壁之间具有间隙；所述内坩埚上设置有安装环，所述炉体内设置有安装部，所述安装环设置在所述安装部上，且所述安装环能够在所述安装部上以自身圆心转动；驱动装置，与所述安装环连接，所述驱动装置用于驱动所述安装环在所述安装部上转动，以带动所述内坩埚相对于所述外坩埚发生转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安交通大学 一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置

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