申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2023-09-22

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117794337A

主分类号：H10K71/13

分类号：H10K71/13;B41J2/01;B41J29/38;B41J29/12;G05B19/04

优先权：["20220927 JP 2022-153999"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.29#公开

摘要：本发明涉及一种液体排出设备，包括：头，其被构造成排出液体；腔室，其被构造成容纳所述头；循环系统，其被构造成使腔室内部的气体循环；排气系统，其被构造成操作以将气体排出至腔室的外部；过滤器，其设置在循环系统中并且被构造成去除气体中含有的去除目标；检测单元，其被构造成通过检测气体中含有的并且不同于去除目标的检测目标来间接检测去除目标；和控制器，其被构造成在由检测单元检测到的检测目标的浓度不低于阈值时操作排气系统。本发明还涉及基板处理设备和制品制造方法。

主权项：1.一种液体排出设备，包括：头，其被构造成排出液体；腔室，其被构造成容纳所述头；循环系统，其被构造成使所述腔室内的气体循环；排气系统，其被构造成操作以将气体排出至所述腔室的外部；过滤器，其设置在循环系统中并且被构造成去除所述气体中所含有的去除目标；检测单元，其被构造成通过检测所述气体中含有的并且不同于去除目标的检测目标来间接检测去除目标；和控制器，其被构造成在由检测单元检测到的检测目标的浓度不低于阈值时操作排气系统。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 液体排出设备、基板处理设备和制品制造方法

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