申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2020-06-24

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN112130430B

主分类号：G03F9/00

分类号：G03F9/00;G03F7/00;G01B11/00

优先权：["20190625 JP 2019-117715"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2021.07.20#实质审查的生效;2020.12.25#公开

摘要：本发明提供一种测量装置、光刻装置和制造物品的方法。所述测量装置测量包括第一标记和第二标记的被检体的位置，并且包括：摄像单元，其被构造为在视场中包含第一标记和第二标记的状态下拍摄第一标记和第二标记；以及偏振元件，其被构造为在入射到摄像单元上的来自第一标记的光和来自第二标记的光中产生彼此不同的偏振方向。

主权项：1.一种测量装置，其测量包括第一标记和第二标记的被检体的位置，所述第一标记用于测量被检体在第一方向上的位置，所述第二标记用于测量被检体在与第一方向不同的第二方向上的位置，所述测量装置包括：摄像单元，其被构造为在视场中包含第一标记和第二标记的状态下拍摄第一标记和第二标记；以及偏振元件，其被构造为在第一偏振方向上产生第一偏振光和在第二偏振方向上产生第二偏振光，第二偏振方向与第一偏振方向不同，其中，第一偏振光照明第一标记，并且来自用第一偏振光照明的第一标记的光入射在摄像单元上，并且其中，第二偏振光照明第二标记，并且来自用第二偏振光照明的第二标记的光入射在摄像单元上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 测量装置、光刻装置和制造物品的方法

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