申请/专利权人：苏州桔云科技有限公司

申请日：2023-03-24

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220691967U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B3/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型提供一种竖立式晶圆表面清洗装置，它包括底座，所述底座的上部水平放置有晶圆箱；所述晶圆箱内放置竖立的多个晶圆片；所述晶圆箱上部装配有喷淋模块，所述喷淋模块包括水平的水箱，所述水箱下部设计有向下伸出的两个以上的清洗管，所述清洗管分别插入晶圆片的两面，所述水箱的上部通过升降丝杆与升降电机连接；所述底座下部设计有控制底座前后运动的水平运动模块。该装置可以双面多个晶圆片同时清洗，同时在取料放料时不需要对晶圆片单独移来移去，清洗完成后可以通过晶圆箱将所有晶圆片取出，可以直接放置晶圆箱，使得效率大大提高，竖直结构方便水流从晶圆箱内自动沥干，清洗效果更好。

主权项：1.一种竖立式晶圆表面清洗装置，它包括外壳1，所述外壳1内设计有水平设计的底座2，所述底座2的上部水平放置有晶圆箱3；其特征在于：所述晶圆箱3为上部敞开的长方形状，晶圆箱3的前后面分别装配有两对以上成对使用的侧料槽31，所述晶圆箱3底面设计有分别与侧料槽31配合的两个以上的底槽32，所述侧料槽31上设计有竖直贯通的开槽，所述底槽32上设计有水平贯穿的开槽，待清洗的两个以上晶圆片4底部分别放置在底槽32内，晶圆片4侧边放置在对应侧料槽31内；所述晶圆箱3上部装配有喷淋模块5，所述喷淋模块5包括水平的水箱51，所述水箱51下部设计有向下伸出的两个以上的清洗管52，所述清洗管52分别插入晶圆片4的两面，所述水箱51的上部通过升降丝杆53与升降电机54连接；所述底座2下部设计有控制底座2前后运动的水平运动模块6。

全文数据：

权利要求：

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