申请/专利权人：青岛芯笙微纳电子科技有限公司

申请日：2024-02-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117800284A

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00;G01F1/684

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种MEMS流量传感器的制作方法及由此得到的流量传感器，制作步骤包括：提供一衬底，并在衬底上形成阶梯状的凹台；在衬底和凹台上依次形成支撑层、具有预设图形的导电层和绝缘层；在衬底上形成隔热腔体。其中，凹台和部分导电层位于隔热腔体的上方。通过本发明制作方法得到的流量传感器，不仅具有体积小、响应快、稳定性高等优点，还利用凹台结构，选择性地增大区域热阻，有利于减少该区域热量散失，提高整体热利用效率，可在不增大传感器尺寸或提高传感器功耗的前提下，有效提高其灵敏度。

主权项：1.一种MEMS流量传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、提供一衬底，并在所述衬底上形成阶梯状的凹台；S2、在所述衬底和所述凹台表面形成支撑层；S3、在所述支撑层表面形成具有预设图形的导电层，至少部分所述导电层形成在所述凹台的上方；S4、形成覆盖所述导电层的绝缘层，并在所述绝缘层上刻蚀出第一窗口，暴露部分所述导电层；S5、在所述衬底上形成隔热腔体，所述凹台位于所述隔热腔体的上方，完成流量传感器的制作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 一种MEMS流量传感器的制作方法及由此得到的流量传感器

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