申请/专利权人：魅杰光电科技(上海)有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117803891A

主分类号：F21V13/00

分类号：F21V13/00;F21V19/00;H01L21/66;G01N21/88;G01N21/95;F21Y115/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请提供一种晶圆检测光源，所述晶圆检测光源包括：滤光片、透镜、白光光源及光纤；光纤与白光光源之间设置滤光片及透镜；其中，光纤出射的光束通过滤光片与透镜形成三色光源，结合白光光源最终形成四色光源，其中滤光片与透镜采用不同位置、不同角度的设置。本说明书实施例通过不同位置设置相应部件及通过调节角度来实现四色光源的合束，设置不同形式的晶圆检测光源，采用本说明书实施例的晶圆检测光源进行晶圆检测无需复杂的光源调节过程，提升晶圆检测效率。

主权项：1.一种晶圆检测光源，其特征在于，所述晶圆检测光源包括：滤光片、透镜、白光光源及光纤；光纤与白光光源之间设置滤光片及透镜；其中，光纤出射的光束通过滤光片与透镜形成三色光源，结合白光光源最终形成四色光源；其中滤光片与透镜采用不同位置或不同角度的设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 魅杰光电科技(上海)有限公司 晶圆检测光源

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