申请/专利权人：南京高华科技股份有限公司

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117804650A

主分类号：G01L1/22

分类号：G01L1/22;B81B7/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本公开的实施例提供一种MEMS压力传感器，包括：传感器本体，传感器本体具有开口的容纳空间；信号采集组件，部分信号采集组件设于容纳空间内且背离容纳空间的开口端；膜片，膜片覆盖容纳空间的开口端；阻挡件，阻挡件固设于容纳空间内，阻挡件位于膜片与信号采集组件之间，阻挡件能够使液体介质在膜片与信号采集组件之间流动。本公开的MEMS压力传感器，当膜片受到外部较大压力时，膜片朝向传感器本体的容纳空间的方向产生形变，当膜片接触到设置在膜片和信号采集组件之间的阻挡件时，阻挡件阻止膜片的进一步变形，从而避免膜片发生破损，避免外部液体泄漏到MEMS压力传感器内。

主权项：1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，所述MEMS压力传感器包括：传感器本体，所述传感器本体具有开口的容纳空间；信号采集组件，部分所述信号采集组件设于所述容纳空间内且背离所述容纳空间的开口端；膜片，所述膜片覆盖所述容纳空间的开口端；阻挡件，所述阻挡件固设于所述容纳空间内，所述阻挡件位于所述膜片与所述信号采集组件之间，所述阻挡件能够使液体介质在所述膜片与所述信号采集组件之间流动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京高华科技股份有限公司 MEMS压力传感器

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