申请/专利权人：芝浦机械电子株式会社

申请日：2021-03-26

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN113453523B

主分类号：H05K9/00

分类号：H05K9/00

优先权：["20200326 JP 2020-055948","20210226 JP 2021-029613"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.10.22#实质审查的生效;2021.09.28#公开

摘要：本发明提供一种可提高电磁波的衰减特性的电磁波衰减体、电子装置、成膜装置及成膜方法。具体而言，根据实施方式，电磁波衰减体包含第1结构体。所述第1结构体包含：第1部件，包含交互设置在层叠方向即第1方向上的第1磁性层及导电性的第1非磁性层；第2部件，包含交互设置在所述第1方向上的第2磁性层及导电性的第2非磁性层；及第3部件，包含导电性的第3非磁性层。从所述第3部件向所述第1部件的方向是沿着所述第1方向。从所述第3部件向所述第2部件的方向是沿着所述第1方向。所述第1磁性层的沿着所述第1方向的第1磁性层厚度比所述第2磁性层的沿着所述第1方向的第2磁性层厚度更厚。

主权项：1.一种电磁波衰减体，其特征在于，具备第1结构体，所述第1结构体包含：第1部件，包含交互设置在层叠方向即第1方向上的多层第1磁性层及导电性的多层第1非磁性层；第2部件，包含交互设置在所述第1方向上的多层第2磁性层及导电性的多层第2非磁性层；及第3部件，包含导电性的第3非磁性层，从所述第3部件向所述第1部件的方向是沿着所述第1方向，从所述第3部件向所述第2部件的方向是沿着所述第1方向，所述第1磁性层的沿着所述第1方向的厚度比所述第2磁性层的沿着所述第1方向的厚度更厚。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芝浦机械电子株式会社 电磁波衰减体、电子装置、成膜装置及成膜方法

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