申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心

申请日：2022-07-09

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN115248238B

主分类号：G01N27/30

分类号：G01N27/30;A61B5/367

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.11.15#实质审查的生效;2022.10.28#公开

摘要：本发明涉及电生理传感检测技术，旨在提供一种纳米陷阱微电极阵列器件及其可控制备方法与应用。该器件包括由上至下依次布置的中空玻璃培养腔、纳米陷阱微电极阵列芯片和PCB适配器，纳米陷阱微电极阵列芯片固定在PCB适配器表面的中心位置；纳米陷阱微电极阵列芯片是以PET多孔膜为基底，以膜表面的微孔作为纳米陷阱；在基底上以点阵方式均匀设有若干个电极位点，且沿周向均匀地形成若干根由四周向中心延伸的电极引线；在PCB适配器的表面由四周向中心延伸布置了若干根微带线，与电极引线一一对应地相连。本发明的器件加工工艺相对更简单，允许高效和经济的平台构建；因此可以应用于广泛的生物医学领域，以实现高质量的细胞内外电生理记录。

主权项：1.一种纳米陷阱微电极阵列器件，其特征在于，包括由上至下依次布置的中空玻璃培养腔、纳米陷阱微电极阵列芯片和PCB适配器，纳米陷阱微电极阵列芯片固定在PCB适配器表面的中心位置；所述玻璃培养腔呈中空圆管状，其径向尺寸与纳米陷阱微电极阵列芯片适配；当其被固定在纳米陷阱微电极阵列芯片上之后能够覆盖后者从而形成顶端开口的中空腔体，且以后者的表面作为中空腔体的底面；所述纳米陷阱微电极阵列芯片是以PET多孔膜为基底，以膜表面的微孔作为纳米陷阱；在基底上以点阵方式均匀设有若干个电极位点，通过光刻、磁控溅射和剥离工艺在基底上沿周向均匀地形成若干根由四周向中心延伸的电极引线，各电极引线彼此之间绝缘且末端分别延伸至所述电极位点处；在PCB适配器的表面由四周向中心延伸布置了若干根微带线，其数量与电极引线的数量相同，各微带线的一端与电极引线一一对应地相连，另一端与焊接在PCB适配器边缘的排针一一对应地电连接；所述纳米陷阱微电极阵列芯片与PCB适配器表面之间、玻璃培养腔与纳米陷阱微电极阵列芯片之间，分别通过聚二甲基硅氧烷实现固定连接；所述纳米陷阱微电极阵列芯片通过下述方式制备获得：（1）根据需要的尺寸和形状，将PET多孔膜分割成小片；（2）在片状PET多孔膜上旋涂光刻胶层，烘烤后按设计布局进行曝光、显影，然后使用氧等离子体清洗样品；（3）通过磁控溅射在样品表面沉积TiAu，然后使用丙酮进行剥离；（4）在样品表面旋涂负光刻胶，对PET膜和电极引线的表面进行绝缘处理；烘烤后曝光，然后烘烤后显影；以异丙醇漂洗，最后再经烘烤，得到纳米陷阱微电极阵列芯片；其中，PET膜和电极引线的绝大部分被绝缘层覆盖，只暴露出位于芯片边缘的连接垫和位于芯片中间的电极位点。

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权利要求：

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