申请/专利权人：厦门莱尔德光电科技有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710259U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;B08B3/02;F26B21/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括底座，所述底座的后侧固定连接有水箱，所述水箱的顶部固定连接有水泵，所述水泵的输出端固定连接有第一导水管，所述第一导水管的另一端固定连接在第二导水管的后侧，所述第二导水管的内侧固定连接有若干个喷口，所述底座的顶部左右侧均设置有输送带，所述底座的右侧底部内壁固定连接有烘干箱。本实用新型中，当晶圆通过两侧的输送带间隔处时，随后通过水泵抽取水箱内的清洗液并导入到第一导水管和第二导水管内，随后通过第二导水管内侧的喷口对晶圆进行喷洒清洗，通过上下两侧对晶圆进行冲洗，保证晶圆的清洗效果，提高清洗效率。

主权项：1.一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括底座1，其特征在于：所述底座1的后侧固定连接有水箱12，所述水箱12的顶部固定连接有水泵11，所述水泵11的输出端固定连接有第一导水管10，所述第一导水管10的另一端固定连接在第二导水管15的后侧，所述第二导水管15的内侧固定连接有若干个喷口18，所述底座1的顶部左右侧均设置有输送带2，所述底座1的右侧底部内壁固定连接有烘干箱9，所述烘干箱9的底部内部固定连接有若干个风扇22，所述风扇22的顶部设置有加热板21，所述烘干箱9的中部顶端固定连接有防护网17，所述底座1的顶部固定连接有顶盖5，所述顶盖5的底部内壁右侧固定连接有若干个烘烤灯16。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门莱尔德光电科技有限公司 一种用于晶圆加工的晶圆清洗机

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