申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710262U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B3/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型揭示了清洗机及晶圆加工装置，其中清洗机包括清洗台，还包括移动机构及由其驱动对清洗台上的晶圆进行清洁的清洗件，所述清洗件的至少一侧设置有用于向其喷液的供液件，所述清洗件移动至所述清洗台上的晶圆的中间位置时，所述清洗件的与所述晶圆接触的清洗部的两端延伸到所述晶圆的晶圆主体的相对两侧外。本实用新型使清洗件的清洗部的长度至少覆盖晶圆的晶圆主体，从而使得清洗时清洗件只要沿一个方向往复移动即可，只需要一个驱动其移动的结构，整体结构更简单，更容易控制，一次移动能够覆盖整个晶圆主体，效率更高，且能够有效保证覆盖性。

主权项：1.清洗机，包括清洗台，其特征在于：还包括移动机构及由其驱动对清洗台上的晶圆进行清洁的清洗件，所述清洗件的至少一侧设置有用于向其喷液的供液件，所述清洗件移动至所述清洗台上的晶圆的中间位置时，所述清洗件的与所述晶圆接触的清洗部的两端延伸到所述晶圆的晶圆主体的相对两侧外。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 清洗机及晶圆加工装置

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