申请/专利权人：赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850021A

主分类号：G02B26/08

分类号：G02B26/08;B81B7/02;B81C3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种MEMS微镜及其制备方法，MEMS微镜包括：镜面、驱动组件、外框和分割连接件；其中，外框围绕镜面布置，外框包括框体以及加厚层，框体具有相对的支撑面和底面，驱动组件位于支撑面上，加厚层凸出于底面布置；分割连接件位于外框上，用于与其他MEMS微镜连接，分割连接件上具有划片通道。该MEMS微镜外框加厚，可以采用自动化机械设备实现MEMS微镜的传输，且分割连接件上具有划片通道，可以采用激光或者机械方法沿着划片通道将多个MEMS微镜进行分割，由自动化机械设备实现芯片分离，无需人工分割芯片。不仅可以降低人工成本，提高生产效率，还可以提高产品良率，实现大批量自动化生产。

主权项：1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：镜面；驱动组件，用于驱动所述镜面转动；外框，围绕所述镜面布置，所述外框包括框体以及加厚层，所述框体具有相对的支撑面和底面，所述驱动组件位于所述支撑面上，所述加厚层凸出于所述底面布置；分割连接件，位于所述外框上，用于与其他MEMS微镜连接，所述分割连接件上具有划片通道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司 MEMS微镜及其制备方法

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