申请/专利权人：东莞澳中新材料科技股份有限公司;澳中新材料科技(韶关)有限公司;澳华新材料科技(韶关)有限公司

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117844386A

主分类号：C09J7/29

分类号：C09J7/29;C09J7/30;C09J153/02;C09J157/02;C08L51/06;C08J5/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种晶圆保护胶带，该晶圆保护胶带包括依次设置的离型层、阻隔层、基材层、粘合层，离型层与基材层通过阻隔层直接复合；离型层包括有机硅离型剂，基材层包括热塑性聚氨酯弹性体橡胶，阻隔层包括EVA‑g‑MAH、POE‑g‑MAH；EVA‑g‑MAH：POE‑g‑MAH＝2～5：1。非硅离型剂所提供的离型力大，导致在使用过程中摩擦力大，使膜发生变形，且在贴膜时容易出现贴不平、包夹气泡等现象，进而使良率降低。因此，本发明利用EVA‑g‑MAH与POE‑g‑MAH作为阻隔层，解决TPU与有机硅离型剂之间的中毒反应；利用POE‑g‑MAH，综合TPU的回弹性能，能够提高晶圆保护胶带制备效率。

主权项：1.一种晶圆保护胶带，其特征在于，所述晶圆保护胶带包括依次设置的离型层、阻隔层、基材层、粘合层，所述离型层与所述基材层通过所述阻隔层直接复合；所述离型层包括有机硅离型剂，所述基材层包括热塑性聚氨酯弹性体橡胶，所述阻隔层包括马来酸酐改性EVA塑料、马来酸酐改性POE塑料；其中，所述马来酸酐改性EVA塑料：所述马来酸酐改性POE塑料＝2～5：1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞澳中新材料科技股份有限公司;澳中新材料科技(韶关)有限公司;澳华新材料科技(韶关)有限公司 一种晶圆保护胶带

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