申请/专利权人：南京理工大学

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848305A

主分类号：G01C19/5656

分类号：G01C19/5656;G01C19/5663;G01C19/5712

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪。包括辐条、环形件、柔性折叠梁、设于环形件外侧并通过周向柔性折叠梁连接的锚点，位于环形件内侧用于驱动该MEMS陀螺仪结构沿广义空间上相互成45°夹角的驱动电极和检测电极；若干个环形件通过n个沿环形件周向等间隔分布的辐条连接，环形件最外环的辐条处通过周向柔性折叠梁连接结构旋转对称的n个外锚点，相邻两个柔性折叠梁与环形件中心构成的夹角为360°n。本发明提供了径向方向的弹性，并且在摆动方向解耦；具有更大的等效质量，使陀螺有更多质量参与科氏力耦合。

主权项：1.一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪，其特征在于，包括辐条101、环形件102、柔性折叠梁201、设于环形件102外侧并通过周向柔性折叠梁201连接的锚点301，位于环形件102内侧用于驱动该MEMS陀螺仪结构沿广义空间上相互成45°夹角的驱动电极和检测电极；若干个环形件102通过n个沿环形件102周向等间隔分布的辐条102连接，环形件102最外环的辐条102处通过周向柔性折叠梁201连接结构旋转对称的n个外锚点301，相邻两个柔性折叠梁201与环形件102中心构成的夹角为360°。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京理工大学 一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪

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