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【发明授权】一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法_晶澳太阳能有限公司_202011212550.1 

申请/专利权人:晶澳太阳能有限公司

申请日:2020-11-03

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN112251808B

主分类号:C30B29/06

分类号:C30B29/06;C30B15/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2021.02.09#实质审查的生效;2021.01.22#公开

摘要:本发明公开了一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法,涉及单晶硅生长领域。该水冷热屏结构的一具体实施方式包括:内壳的内表面排列设置槽形结构;内壳的剖面和外壳的剖面均为倒置的等腰梯形结构;内壳套装在外壳内,内壳的上边缘和下边缘分别与外壳的上边缘和下边缘密封连接;内壳与外壳之间形成空腔,冷却水导流装置设置于空腔内。该实施方式能够有效地提高水冷热屏结构吸收热辐射的能力,从而提高水冷热屏结构的散热效果。

主权项:1.一种水冷热屏结构,其特征在于,包括:内壳101、外壳102、冷却水导流装置103,其中,所述内壳101的内表面排列设置槽形结构1011;所述内壳101的剖面和所述外壳102的剖面均为倒置的等腰梯形结构;所述内壳101套装在所述外壳102内,所述内壳101的上边缘和下边缘分别与所述外壳102的上边缘和下边缘密封连接;所述内壳101与所述外壳102之间形成空腔,所述冷却水导流装置103设置于所述空腔内;所述槽形结构1011在所述内壳101的内表面密集排列;所述内壳101的内表面分为上段部分1012、中段部分1013以及下段部分1014;所述槽形结构排列于所述下段部分1014、所述中段部分1013以及所述上段部分1012中的任意一部分中的部分区域或全部区域,或者所述槽形结构排列于所述下段部分1014、所述中段部分1013以及所述上段部分1012中的任意两部分中的部分区域或全部区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 晶澳太阳能有限公司 一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法

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