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【发明授权】基于机器视觉的批量硅片标识识别方法_洛阳德晶智能科技有限公司_202110968922.1 

申请/专利权人:洛阳德晶智能科技有限公司

申请日:2021-08-23

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN113592962B

主分类号:G06T7/80

分类号:G06T7/80;G06V20/62;G06V30/146;G06V30/148;G06V30/19;G06V10/82;G06N3/0464;G06N3/08

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2021.11.19#实质审查的生效;2021.11.02#公开

摘要:基于机器视觉的批量硅片标识识别方法,它包括如下步骤:步骤1:通过工业相机获取得到整盒硅片图像;步骤2:对整盒硅片图像进行字符透视形变矫正;步骤3:对步骤2获得的字符进行定位及分割算法;步骤4:对分割后的字符进行识别。本发明为字符分类算法降低难度,利用较为轻量级的分类算法即可实现快速、准确的字符识别,并提供了一种非接触式识别方法,无需触碰或取出硅片,即可完成整盒硅片的标识识别,避免硅片粘污、划痕的风险。

主权项:1.基于机器视觉的批量硅片标识识别方法,其特征在于,它包括如下步骤:步骤1:通过工业相机获取得到整盒硅片图像:将批量硅片放入片盒中,整个片盒放置在片盒基座上,工业相机对整个片盒拍照,得到整盒硅片图像;步骤2:对整盒硅片图像进行字符透视形变矫正:首先以基座上表面中心位置为世界坐标原点,对相机进行内外参标定得到相机的内参和外参,即相机与片盒的相对位姿;然后,在世界坐标系中构建硅片及片盒3D模型,对各个硅片的位姿进行分析,得到字符区域的包围矩形三维顶点坐标;其次,将四个顶点投影到像素坐标系,按实际的长宽比生成矩形包围框,从而得到透视变换矩阵,实现图像畸变的校正;步骤2中,包括如下步骤:2.1、硅片及片盒模型构建:定义片盒与硅片所在的坐标系为世界坐标系,定义片盒基座中心的位置为世界坐标系原点ow,Z轴垂直于基座上表面,方向向上,X轴、Y轴位于片盒基座上表面内,Y轴指向片盒开口方向,X轴垂直于片盒开口方向;记各硅片圆心的世界坐标为Oi=[0,0,hi]T,i∈{1,…,N};根据片盒和基座的3D模型,hi可通过如下公式计算:hi=h0+i-1·Δh1其中,h0为最底部片子到基座上表面的距离,各相邻片子圆心间距相等,均为Δh;对于半径为R的硅片,其棱线长度为L,则棱线的两个端点可以表示为: 2.2、相机内外参标定:根据相机外参RCW,tcW,即相机坐标系相对于世界坐标系的旋转矩阵RCW和平移向量tCW,从而将世界坐标系下的点PW=[X,Y,Z]T通过相机外参变换到相机坐标系下的坐标为PC=[XC,YC,ZC]T:PC=RCWPW+tCW5进而,通过相机的内参矩阵K,将世界坐标系下的点投影到图像坐标系下的计算公式可以写为: 其中,相机的内参矩阵K,以及相机坐标系相对于世界坐标系的旋转矩阵RCW和平移向量tCw,需要通过标定算法依次计算得出;2.3、硅片三维模型配准:根据相机内参、外参,投影到图像坐标系下,得到图像坐标系下的端点坐标计算图像坐标系下两端点pi1、pi2所在直线li的斜率ki为: 对实际采集的图像采用直线提取算法,计算出各棱线的直线方程,从而能够将图像中的棱线l′i,按从上到下的顺序与硅片Oi进行关联;2.4、字符图像畸变校正:确定硅片的转角θi后,进一步计算各硅片上字符区域的世界坐标;步骤3:对步骤2获得的字符进行定位及分割算法;在步骤3中,首先对获取到的图像进行去噪、滤波处理、自适应二值化处理,然后使用闭运算连通二值图中的孔洞区域,完成预处理;进一步通过水平投影方法,统计每一行像素的白点数量,确定字符所在行的范围;进而利用垂直投影方法对字符进行分割,得到每个字符的图像;步骤4:对分割后的字符进行识别。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 洛阳德晶智能科技有限公司 基于机器视觉的批量硅片标识识别方法

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