申请/专利权人：河南华辰智控技术有限公司;郑州大学

申请日：2022-07-07

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN115042031B

主分类号：B24B7/22

分类号：B24B7/22;B24B7/07;B24B41/06;B24B47/06;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.13#公开

摘要：本发明公开了一种电路硅片制造的自动调节装置，包括工作台面、横向驱动机构和纵向驱动机构，所述横向驱动机构和纵向驱动机构分别设于工作台面的顶部，所述横向驱动机构的输出端连接有用于固定硅片的吸盘夹具，所述纵向驱动机构的输出端连接有自动调节机构，所述自动调节机构的底端连接有用于打磨硅片的磨轮，所述自动调节机构位于旋转机构横向移动的路径上方；所述自动调节机构包括中空筒体、上端盖、下端盖、滑套、电机、方形连接杆、方形连接套管、支撑板、环形板、夹持气缸、夹板和摩擦片。针对随着打磨时间的增加，磨轮厚度减少的情况，使磨轮与硅片有效接触，避免随着磨轮的厚度减少导致硅片的打磨厚度不一。

主权项：1.一种电路硅片制造的自动调节装置，其特征在于，包括工作台面1、横向驱动机构和纵向驱动机构，所述横向驱动机构和纵向驱动机构分别设于工作台面1的顶部，所述横向驱动机构的输出端连接有用于固定硅片的吸盘夹具2，所述纵向驱动机构的输出端连接有自动调节机构，所述自动调节机构的底端连接有用于打磨硅片的磨轮3，所述自动调节机构位于旋转机构横向移动的路径上方；所述自动调节机构包括中空筒体4、上端盖5、下端盖6、滑套7、电机8、方形连接杆9、方形连接套管10、支撑板11、环形板12、夹持气缸13、夹板14和摩擦片15，所述中空筒体4的外侧壁连接纵向驱动机构的输出端，所述上端盖5和下端盖6分别设于中空筒体4的顶部和底部，所述电机8设于上端盖5的顶部，所述电机8的输出端贯穿上端盖5并连接方形连接杆9，所述电机8的输出端与上端盖5之间设有轴承，所述方形连接套管10设于中空筒体4中心处，所述方形连接杆9的底端设于方形连接套管10的顶端内并与其滑动连接，所述方形连接套管10的底端贯穿下端盖6并连接磨轮3，所述方形连接套管10的顶端以及对应于下端盖6处的外侧壁上分别套装有支撑板11，所述支撑板11的中部具有与方形连接套管10匹配的方形孔，所述支撑板11的外围呈圆形，所述支撑板11外围通过轴承连接有环形板12，位于上方的所述环形板12与上端盖5之间设有弹簧，所述下端盖6的中心处设有滑套7，位于下方的所述环形板12滑动设于滑套7内，所述中空筒体4的外侧壁对应于方形连接套管10顶端支撑板11处设有至少三个夹持气缸13，所述至少三个夹持气缸13以方形连接套管10为中心呈圆周阵列设置，所述夹持气缸13的输出端贯穿方形连接套管10的侧壁并连接有夹板14，所述夹板14呈与支撑板11的外围匹配的弧形，所述夹板14远离对应夹持气缸13的一侧连接有摩擦片15。

全文数据：

权利要求：

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