申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220740838U

主分类号：B25B11/00

分类号：B25B11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了一种无台阶式掩膜板的固定工装，属于无台阶式掩膜板固定技术领域，包括底支撑部、设置在底支撑部上的两个第一限位部、设置在底支撑部上的两个第二限位部和压紧部，底支撑部用于支撑掩膜板和掩膜条。本实用新型利用两个第一限位部从掩膜板的左右两端产生夹持力，使两个掩膜条被压紧在掩膜板的左右两端，再利用两个第二限位部从掩膜板的前后两端产生夹持力，使掩膜条的前后两端分别与掩膜板的前后两端对齐，然后再配合压紧部使掩膜板和掩膜条在竖向上压紧固定，如此，在用于粘接掩膜板和掩膜条的AB胶固化后，使得掩膜板和掩膜条能够在前后、左右、上下方向上有较高的一致性，满足实际的生产需求。

主权项：1.一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，包括：底支撑部1，用于支撑掩膜板41和掩膜条42；设置在底支撑部1上的两个第一限位部21，两个所述第一限位部21用于从掩膜板41的横向两端产生夹持力，使两个掩膜条42压紧在掩膜板41的横向两端；设置在底支撑部1上的两个第二限位部22，用于使掩膜板41的纵向两端分别与掩膜条42的纵向两端对齐；以及压紧部3，用于在竖向上将掩膜板41和掩膜条42压紧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种无台阶式掩膜板的固定工装

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD