申请/专利权人：新启航半导体有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117877999A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67;G01R31/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆测试三维台及晶圆测试方法，晶圆测试三维台包括台板、衬架、动力机构和活动机构，台板位于探针下方，台板上划分有探针运动可覆盖的检测区和非可覆盖的调整区，衬架位于调整区内，衬架上配置有滑板和吸附组件，滑板通过移位组件与衬架活动连接，并可与衬架相垂直，动力机构连接衬架，用于驱动衬架在竖直状态和水平状态之间转换，并在衬架处于水平状态时可进行横向摆动，活动机构包括设置在衬架上的第一伸缩源和压辊，第一伸缩源活动杆伸出，使滑板经过压辊压接后与水平状态的衬架相平齐，并推动滑板从调整区向检测区内运动；本发明通过划分的检测区和调整区将测试位置和取放位置分离开来，并实现对大尺寸晶圆的覆盖检测。

主权项：1.晶圆测试三维台，其特征在于，包括：台板100，位于探针下方，其上划分有探针运动可覆盖的检测区和非可覆盖的调整区；衬架200，位于调整区内，其上配置有滑板210和吸附组件230，所述滑板210通过移位组件240与衬架200活动连接，并可与衬架200相垂直，所述滑板210上设置有用于放置晶圆的基板220，所述吸附组件230用于吸附晶圆在基板220上保持固定；动力机构300，连接所述衬架200，用于驱动所述衬架200在竖直状态和水平状态之间转换，并在衬架200处于水平状态时可进行横向摆动；活动机构400，包括设置在所述衬架200上的第一伸缩源410和压辊420，第一伸缩源410活动杆伸出，使滑板210经过所述压辊420压接后与水平状态的衬架200相平齐，并推动所述滑板210从调整区向检测区内运动。

全文数据：

权利要求：

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