申请/专利权人:合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
申请日:2023-11-30
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117878160A
主分类号:H01L29/786
分类号:H01L29/786;H01L21/34;H01L27/12
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:本申请实施例提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、一种阵列基板及一种显示面板。薄膜晶体管包括导电功能层,导电功能层用于吸附薄膜晶体管中的氢原子。通过在薄膜晶体管中设置用于吸附氢原子导电功能层,从而可以俘获后续膜层沉积工艺中解离出来的氢原子,有效阻挡氢原子扩散至有源层内,以提升器件性能。
主权项:1.一种薄膜晶体管,其特征在于,包括导电功能层,所述导电功能层用于吸附所述薄膜晶体管中的氢原子。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司 薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板
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