申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心;舜宇光学(浙江)研究院有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117872687A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02F1/1337;G02B5/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请涉及一种液晶配向曝光装置、方法及金属栅格偏光片制备方法。所述液晶配向曝光装置，包括光源模块、配向模块和机台；光源模块，用于产生对待加工工件进行配向曝光的曝光光束；所述配向模块以及所述机台依次设置于所述曝光光束的光路上；机台，用于承载至少一个所述待加工工件，并将所述待加工工件移动至曝光区域；配向模块，包括至少一个金属栅格偏光片，且所述金属栅格偏光片上设有取向逐像素设计的金属栅格透光孔，以透射所述曝光光束，进而对相应位置的所述待加工工件进行配向曝光。本申请的液晶配向曝光装置，利用金属栅格偏光片逐像素改变透过的曝光光束的偏振方向，因而逐像素改变待加工工件的配向，能够提高光学元件的生产效率。

主权项：1.一种液晶配向曝光装置，其特征在于，包括光源模块、配向模块和机台；光源模块，用于产生对待加工工件进行配向曝光的曝光光束；所述配向模块以及所述机台依次设置于所述曝光光束的光路上；机台，用于承载至少一个所述待加工工件，并将所述待加工工件移动至曝光区域；配向模块，包括至少一个金属栅格偏光片，且所述金属栅格偏光片上设有取向逐像素设计的金属栅格透光孔，以透射所述曝光光束，进而对相应位置的所述待加工工件进行配向曝光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学杭州国际科创中心;舜宇光学(浙江)研究院有限公司 液晶配向曝光装置、方法及金属栅格偏光片制备方法

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