申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2018-05-10

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN110731007B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/683

优先权：["20170512 US 15/593,987"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.06.09#实质审查的生效;2020.01.24#公开

摘要：一种用于在衬底处理系统中的处理期间控制衬底温度的系统包括：限定中心区域和径向外部区域的衬底支撑件。在处理期间，将所述衬底布置在所述中心区域和所述径向外部区域两者上。第一加热器被配置为加热所述中心区域。第二加热器被配置为加热所述径向外部区域。第一散热器具有与所述中心区域热连通的一端。第二散热器具有与所述径向外部区域热连通的一端。在所述处理期间，所述中心区域和所述径向外部区域之间的温度差大于10℃。

主权项：1.一种用于在衬底处理系统中的处理期间控制衬底温度的系统，其包括：限定中心区域和径向外部区域的衬底支撑件，其中，在处理期间，将所述衬底布置在所述中心区域和所述径向外部区域两者上；第一加热器，其被配置为加热所述中心区域；第二加热器，其被配置为加热所述径向外部区域；第一散热器，其包括轴向延伸的突起并且具有与所述中心区域热连通的一端；和第二散热器，其具有与所述径向外部区域热连通的一端，其中在所述处理期间，所述中心区域和所述径向外部区域之间的温度差大于10℃。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件

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